Фоторезистка гомуми күзәтү
Фоторезист, шулай ук фоторезист дип тә атала, ультрафиолет нурлары, электрон нурлары, ион нурлары, рентген нурлары яки башка нурланышлар тәэсирендә эрүчәнлеге үзгәрә торган юка пленкалы материалны аңлата.
Ул смола, фотоинициатор, эреткеч, мономер һәм башка өстәмәләрдән тора (1 нче таблицаны карагыз). Фоторезист смоласы һәм фотоинициатор - фоторезист эшчәнлегенә тәэсир итүче иң мөһим компонентлар. Ул фотолитография процессында коррозиягә каршы каплау буларак кулланыла.
Ярымүткәргеч өслекләрне эшкәрткәндә, тиешле сайлап алучы фоторезист куллану өслектә кирәкле рәсемне булдыра ала.
1 нче таблица.
| Фоторезист ингредиентлары | Эшчәнлек |
| Эреткеч | Ул фоторезистны сыек һәм очучан итә, һәм фоторезистның химик үзлекләренә бернинди дә йогынты ясамый диярлек. |
| Фотоинициатор | Ул шулай ук фотосенсибилизатор яки фотокатыру агенты буларак та билгеле, фоторезист материалындагы фотосизгер компонент. Ул билгеле бер дулкын озынлыгындагы ультрафиолет яки күренә торган яктылык энергиясен сеңдергәннән соң, ирекле радикалларга яки катионнарга таркала һәм мономерларда химик аркылы бәйләнеш реакцияләрен башлый ала торган кушылма төре. |
| Смол | Бу инерт полимерлар һәм фоторезисттагы төрле материалларны бергә тоту өчен бәйләүче матдәләр булып хезмәт итә, фоторезистка аның механик һәм химик үзлекләрен бирә. |
| Мономер | Ул шулай ук актив эреткечләр буларак та билгеле, полимерлаша торган функциональ төркемнәрне үз эченә алган кечкенә молекулалар һәм югары молекуляр авырлыктагы сумалалар барлыкка китерү өчен полимерлашу реакцияләрендә катнаша алырлык түбән молекуляр авырлыктагы кушылмалар. |
| Өстәмә | Ул фоторезистларның махсус химик үзлекләрен контрольдә тоту өчен кулланыла. |
Фоторезистлар, алар барлыкка китергән сурәткә нигезләнеп, ике төп категориягә бүленә: уңай һәм тискәре. Фоторезист процессы вакытында, экспозициядән һәм үсештән соң, каплауның ачык өлешләре эреп, экспозицияләнмәгән өлешләре кала. Бу каплау уңай фоторезист дип санала. Әгәр ачык өлешләр экспозицияләнмәгән өлешләр эреп беткән вакытта калса, каплау тискәре фоторезист дип санала. Экспозиция яктылык чыганагына һәм нурланыш чыганагына карап, фоторезистлар шулай ук УВ (шул исәптән уңай һәм тискәре УВ фоторезистлары), тирән УВ (DUV) фоторезистлары, рентген фоторезистлары, электрон нур фоторезистлары һәм ион нур фоторезистлары дип бүленә.
Фоторезист, нигездә, дисплей панельләрендә, интеграль схемаларда һәм дискрет ярымүткәргеч җайланмаларда вак бөртекле үрнәкләрне эшкәртүдә кулланыла. Фоторезист җитештерү технологиясе катлаулы, төрле продукт төрләре һәм спецификацияләре бар. Электроника сәнәгатенең интеграль схема җитештерүе кулланыла торган фоторезистка катгый таләпләр куя.
Фотоконцентрацияләнә торган сумалалар җитештерү һәм эшләүдә 20 еллык тәҗрибәсе булган Ever Ray җитештерүчесе еллык 20,000 тонна җитештерү куәтенә, тулы продукт линиясенә һәм продуктларны шәхсиләштерү мөмкинлегенә ия. Фоторезистта Ever Ray төп компонент буларак 17501 сумаласын куллана.
